Plaats de koolstof nanobuis monster op de boorkop van de spin coater . Plaats een paar druppels te weerstaan op het monster . Start de spin - coater . Een recept worden gebruikt die leidt tot ongeveer 1000 nm weerstaan . Voor de resist S1813 , gebruik een recept van 4000 omwentelingen per seconde gedurende 60 seconden
2
Verwijder het monster uit de spin - coater bij het draaien is gestopt . Plaats het monster op een hete plaat . Afhankelijk van het type resist gebruikt , zal de tijd en temperatuur variëren . Raadpleeg de documentatie weerstaan om optimale temperatuur en tijd op de hete plaat te bepalen. Voor S1813 weerstaan bak monster gedurende drie minuten bij 100 graden .
3 Breng het monster in het masker aligner en een eenvoudige twee elektroden masker blootgesteld aan het monster . De blootgestelde delen van het monster chemisch veranderd worden zodat zij kunnen worden verwijderd met een chemisch bekend als ontwikkelaar .
4 het monster in de resist ontwikkelaar. De tijd in de ontwikkelaar is afhankelijk van de individuele weerstaan . Raadpleeg het weerstaan en ontwikkelaar specificaties voor typische tijden . De delen van het monster die blootgesteld wordt verwijderd waardoor een patroon . Metaal kan worden gestort in dit patroon om elektroden te genereren. Plaats het monster in een verdamper en plaats 1cm van goud draad in de verdamping smeltkroes . Borg circa 100 nm van goud .
5
Plaats het monster in aceton . Aceton verwijdert alle delen van de resist die werden blootgesteld , waardoor een gouden patroon . Schakel de multimeter en selecteer de weerstand functie . Plaats een multimeter sonde op elke elektrode . Het display moet nu geven de weerstand tussen de elektroden . De gemeten weerstand is het gevolg van de stroom tussen de elektroden (via de koolstof nanobuisjes ) .