Plaats het silicium substraat op de spin - coater boorkop . Selecteer een toerental van 3000 RPM , en een spin van 2 minuten . Plaats een paar druppels S1813 op de ondergrond en start het spinnen . Kopen van 2
Zet op de hete plaat en zet deze op 110 graden Celsius (230 graden Fahrenheit ) . Wacht tot de hete plaat de gewenste temperatuur heeft bereikt . Plaats het monster op de hete plaat gedurende 2 minuten . Verwijder het monster en laat het afkoelen .
Plaats 3 van het monster in het masker aligner , en plaats het masker met de cirkelvormige baan in het masker aligner boven het monster . Expose de steekproef aan ultraviolet licht gedurende 2 seconden .
Plaats
4 het monster in de S1813 ontwikkelaar voor 30 seconden . De ontwikkelaar verwijdert de blootgestelde delen van het monster , de vorming van een cirkelvormige baan die supergeleidend materiaal kan worden gestort .
5
Plaats het monster in de verdamper , en plaats een paar korrels van niobium in de verdamping smeltkroes . Damp 100 nanometer van niobium . Verwijder het monster uit de verdampingskamer . Plaats het monster in aceton . Aceton verwijdert alle delen van het fotoresist waarbij de supergeleidende cirkelvormige baan . Het monster is voltooid . Niobium wordt supergeleidend hieronder 9.3 Kelvin .