DIY RF Koppeling Plasma

Atomen bestaan ​​uit een positief geladen kern omgeven door een wolk van negatief geladen elektronen . Soms atomen kunnen winnen of verliezen elektronen, die leidt tot het verwerven van hen een positieve of negatieve lading . Een atoom met een netto lading staat bekend als een ion . Plasma is een wolk van ionen , en deze kunnen een aantal toepassingen in de halfgeleider industrie hebben . Een plasma kan in een argon gevulde vacuümkamer worden geproduceerd met behulp van een voeding die radiofrequentie ( RF) radiation.Things genereert Je
RF vacuümkamer met Argon massadebietregelaar
Rotary pomp
nodig turbopomp
RF voeding
RF matching netwerk
2 RF kabels
Toon meer instructies
1

Schakel de roterende pomp en wacht tot de druk om krijgen tot 10 ^ -3 millibar . Schakel de turbo pomp , en wachten tot het opvoeren . Wacht tot een druk van ongeveer 10 ^ -6 mbar is bereikt .

Connect 2 een RF kabel tussen de RF- matching unit en RF voeding. Sluit een andere kabel tussen de RF- matching unit , en de RF vacuümkamer elektrodebus .

Gedeeltelijk dicht 3 de klep aan de turbo pomp . Schakel de Argon massadebietregelaar , en stel een druk van 15 millibar . Schakel de RF voedingseenheid en aanpassingseenheid . Stel een voorwaartse vermogen van 50 Watt . De matching unit wordt gehoord als het probeert om het gereflecteerde RF-vermogen te minimaliseren . Wanneer het gereflecteerde vermogen lager dan 1 procent van het voorwaartse vermogen , verhogen de toegevoerde vermogen ongeveer 150 Watt . Het plasma in de kamer moet gaan branden , en zichtbaar hoewel de kamer uitzicht - poort. Langzaam de voorwaartse kracht terug naar 50 Watt verlagen. De RF paar plasma wordt gecreëerd .