Hoe te verschuivingen tijdens Anisotropisch Ets Bereken

Nadere uitlijning - of mismatch van cellen - in anisotroop etsen vereist een berekeningsmethode genaamd " tijd compensatie . " Dit kan gezien worden als je het oplossen van een algoritme wordt gebruikt bij het simuleren van de etsen van silicium in een EDP ​​, KOH of TMAH oplossing . Bij de werkwijze cellulaire automaten ( CA ) voor het etsen simulatie gebruikt , wordt het substraat vertegenwoordigd door individuele cellen die zijn opgenomen in een kristallijne roosterstructuur . Instructies
1

Schrijf uit de vergelijking van het aantal etsen stappen te bepalen. Dit wordt uitgedrukt als N ( t ) = [ M /E ( s ) T] t . Een standaard waarde van 1 wordt gebruikt voor T. De waarde van M een veelvoud van E ( n) T. De waarde van E ( s ) is [ 0,1 ] . Kopen van 2

Schrijf de vergelijking om het equivalent etssnelheid van de oppervlakte materiaal te bepalen . Dit wordt uitgedrukt als : .

E ( s ) = M /N ( t ) T = M /( M /E ( s ) T ) T = E ( s) van

Als M is geen veelvoud van E ( s ) T , dan is een mismatch zal optreden omdat de etsen van de volgende cel niet meteen begint .
3

Noteer voor " k ", die wordt gebruikt om een ​​etsstap identificeren . De volgende etsstap in het proces wordt aangeduid als k + 1 . Noteer de tijd balans voor een etsstap als Tb ( k ) .

Voeg 4 de vergelijking gebruikt om de tijd compensatie te berekenen . Deze vergelijking wordt uitgedrukt als :

M ( k )> E ( n) ( T + Tb ( k -1 ) op

dan

T ( k ) = T + Tb ( k -1 ) op

M ( k +1 ) = M ( k) - E ( s ) T ( k ) op

Tb ( k ) = 0

anders

T ( k ) = M ( k) /E ( s) van

M ( k +1 ) = 0

Tb ( k ) = T - T ( k ) op

het eindresultaat van de tijd compensatiemethode resultaten in een vergelijking die wordt uitgedrukt als :

E ( s ) = M ( k ) /T ( k) = E ( s ) voor een ets stap k